Técnicas de Caracterización

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FIB-SEM

FIB-SEM ( Focussed Ion Beam – Secondary Electron Microscope)

Microscopio electrónico de barrido de Carl Zeiss, modelo Auriga Compact con un voltaje de aceleración de electrones de 0.5 a 30 kV y tres detectores diferentes de electrones secundarios y retrodispersados. El sistema incluye también un detector de EDS XFlash de la casa Bruker, con una resolución de hasta 127 eV en energía para estudios de composición y se pueden realizar análisis en un punto local, lineales y mapas de un área. También está equipado con un detector de difracción de electrones retrodispersados (EBSD) para la determinación de fases y orientaciones cristalinas con una inclinación de la muestra de 70º. El microscopio está equipado además con un cañón FIB de iones de galio con un voltaje de aceleración de 1 a 30 kV para inspección en cortes en sección y la fabricación de muestras para TEM en materiales conductores y aislantes.

 

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SIMS

SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry)

Equipo de espectroscopía de masas de iones secundarios de Hiden Analytical. Se utilizan iones primarios de O2 ó Ar con una energía de hasta 5 keV. Permite realizar espectros de masas (1 a 550 uma), perfiles en profundidad y SIMS estático. El sistema se puede emplear también para mapas de composición e incorpora un cañón de electrones para experimentos de SIMS en materiales aislantes. Para la detección de iones electronegativos se utiliza un cañón de iones de Cs, con una energía máxima de 5 keV.

El equipo Hiden SIMS Workstation ha sido cofinanciado por el CEI Campus de Moncloa (Resolución del 23 de Marzo de 2011), fue concedido al IFN_UPM, y se encuentra en préstamo en el LNF_CIEMAT